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MF-OVV系列無氧烘箱(垂直送風)
    發布時間: 2023-06-28 10:03    

MF-OVV系列烘箱設備是專門設計用來滿足半導體集成電路行業配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產品的品質要求。


用途特點:

本產品適用于半導體加工,該烘箱采用垂直熱循環方式,進行精確的溫度控制

技術特點: 

采用垂直送風系統,垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部,與傳統安裝方式相比,減少安裝空間20-60%。提高生產線生產效率,節省設備空間

內腔采用SUS304拉絲板,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面沾污;

內門結構后門為單結構,采用雙密封結構,防止熱量流失

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現微調;

大容積的設計,由于改進了隔斷和支撐板,可以同時承受更多的產品重量

優異的熱工性能,使加熱性能大大提高,運行時不會影響環境,室內溫度保持不變

過程控制:

多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監控軟件,可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產效率、控制產品品質

設備特點:

堅持工藝優先的設計原則,即先制定最為優化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩定,材料利用最合理,力求提升設備穩定性和降低運行成本;

本著人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場情況,并不斷完善設計,使現場使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

可定制層板,滿足承重與間距要求;

溫度均勻度依照GBT30435-2013

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

配套完整的產品使用手冊及說明

 

型號

MF-OVV****

1600

1640

1800

循環系統

熱風循環系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

溫度波動范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

風冷、多段式冷卻

內腔尺寸W *H *D mm

600 *600* 1100

640 *640 * 1100

800 *800 * 1300

外形尺寸W * H *D mm

1030 * 950 * 1900

1030* 950 * 1900

1200 * 1100 * 2100

容積 (L)

360

450

830

使用環境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

13KVA

16KVA


基本功能配置:

電源缺相保護;

漏電保護器;

電磁門鎖(氣缸門鎖);

過載保險絲;

超溫保護器;

加熱器防干燒;

馬達轉速檢測;

N2壓力檢測;

N2過濾調壓閥;

選配功能:

在線氧含量檢測;

N2流量檢測;

高低溫表設定聯動;

腔體壓力檢測;

自動排風裝置;

廢氣沉淀回收裝置;










服務熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業產業園   (二期) 3號樓
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