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MF-AO系列自動烘箱
    發布時間: 2023-06-28 10:43    

MF-AO系列自動烘箱是專門設計用半導體集成電路自動化生產線與現場AGV,ROBOT等自動化配合,實現無人操作,安全生產


用途特點:

本產烘箱品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產工藝

技術特點: 

自動化操作系統滿足現場無人操作的需求,自動開關門系統完全融入工廠自動化系統中,根據遠程指令動作及反饋;

更加安全的烘箱,自動門狀態、動作聯鎖及多重保護措施,避免了系統間干涉出現;

烘箱采用雙門設計,自動門實現自動生產,手動門進行保養與應急生產。采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面沾污;整體框架設計能與外部輸送設備機構聯動,保證動作一致性

過程控制:

烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

工廠MES,CIM,EAP配套軟件使用,可實現烘箱溫度監控,產品運行參數管理與生產運行記錄

設備特點:

可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

配套完整的產品使用手冊及說明

   

型號

MF-AO****W/A

1640

2640

循環系統

熱風循環系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C~250°C

溫度波動范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆板、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風冷卻、多段式冷卻

內腔尺寸W *H *D mm

640 *640* 1100

640 *640 * 550

外形尺寸W * H *D mm

1700 * 1100 * 1840

1800* 1100 * 2040

容積 (L)

160

450

使用環境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380 3PH

AC380 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

 

基本功能配置:


漏電保護器;

電磁門鎖;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達轉速檢測保護;

UPS

壓縮空氣檢測;

N2流量檢測;

水流量檢測;

功能選配:

腔體氧含量在線檢測;

高低溫聯動檢測;

腔體壓力檢測;

自動排風閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內除塵過濾網裝置;










服務熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業產業園   (二期) 3號樓
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