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MF-VO系列真空烘箱
    發布時間: 2023-06-28 10:47    

MF-VO系列無氧真空烘箱設備是專門設計用來滿足半導體行業集成電路配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可得到質量優異的品質


用途特點:

本產品適用于半導體大芯片的加工,面板,模組組件等負壓除泡工藝。用于去除粘接過程中產生的氣泡。本烘箱采用先真空除泡后無氧加熱

 

技術特點: 

采用超高真空泵與超高真空比列閥完全控制整個過程中真空度;

多重壓力保護及安全裝置設計;

可視化窗口設計

過程控制

多段式程序控制,真空值、溫度、時間完全按照程序設定運行,完全滿足現場各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度、壓力、時間監控軟件,可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產效率、控制產品品質

設備特點:

溫度均勻度依照GBT30435-2013

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

配套完成的產品使用手冊及說明

 

型號

MF-VO****

1400

1500

2400

2500

循環系統

熱輻射系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C~250°C

溫度波動范圍

100-200℃<±5℃

真空范圍

100KPa~0.1KPa

升溫時間

<60Min175℃&  < 80Min200℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

不銹鋼加熱管

冷卻方式

氮氣輔助/自然冷卻/冷卻

內腔尺寸W *H *D mm

400 *500* 400

500 *550 * 500

400 *500* 400

500 *550 * 500

使用環境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

真空泵

單級油封式旋片真空泵 

動力配置

電源配置

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

烘箱功率

12KVA

12KVA

22KVA

22KVA

  

基本功能配置:

漏電保護器;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

腔體排氧裝置;

腔體手動泄壓閥;

腔體內照明;

加熱及冷卻隔板;

腔體高低壓檢測裝置;

真空泵散熱及排氣回路;

功能選配:

N2流量檢測;

高低溫聯動檢測;

腔體壓力檢測;

自動泄壓閥;










服務熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業產業園   (二期) 3號樓
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